一种电极用钛材，其特征在于，在含有从铂族元素、Au、Ag中选择的贵金属元素的钛合金基材表面，形成平均厚度为200nm以下的、从该钛合金基材析出的贵金属元素和钛氧化物的混合层，该混合层表面和钛合金基材具有通过下述测定方法测得的接触电阻值为12mΩ·cm²以下的导电性。隔着平均厚度为0.3mm的碳纤维布，从钛合金材上侧用与钛合金材的接触面积为1cm²铜电极及从钛合金材下侧用与钛合金材的接触面积为1cm²铜电极夹住形成有混合层的板状钛合金材的两面，而且在从钛合金材的上下两侧施加面压5kg/cm²的负荷的状态下，用4端子式电阻计测定两个铜电极之间流入7.4mA的电流时的两个碳纤维布之间的电压下降量，从而算出接触电阻。